箱體結構特征外殼材料采用質量鋼板，焊接折彎制作。內膽材料采用質量不銹鋼SUS201#板，焊接折彎制作。箱體骨架1.采用角鐵加強制作，保持箱體內外各個面的承載強度；2.保留熱脹冷縮系數(shù)，可防止箱體變形。保溫材料采用100K加密型硅酸鋁保溫棉，具有不可燃燒，隔熱性強等特點，厚度為100mm。密封材料密封條采用硅膠條制作，可耐溫不變形。換氣裝置箱體上部設有進氣口、排氣口，口徑為75mm”。門手動雙開門，兩側安裝鍍鉻加強型合頁，可防止門下垂，操作方便。電控箱電控箱安裝在箱體右側，方便操作。凹槽烘箱底部設置平板，可同時放置2部小車，方便小車進出烘箱。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。虎丘區(qū)半導體工業(yè)烤箱出售

尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口無錫省電工業(yè)烤箱維修網鏈式還原氣氛隧道爐。

第二部分、烘烤爐技術性能說明四:輸送系統(tǒng)線體技術規(guī)格烤爐側上下循環(huán)主輸送線：37017L*1777.8W*800-1280H數(shù)量:1條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距266.7MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、烤爐內輸送寬度:810MM,滾筒總長約1631MM;8、烤爐內滾筒線動力按照6米段分布，共分為6段動力;9、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動，動力布置在烤爐外側;10、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。11、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。下圖為烤爐側滾筒線的端面圖（含烤爐爐體）

二、送風系統(tǒng)1.送風方式：強制水平送風循環(huán)2.鼓風電機：中國臺灣產長軸電機1HP380V4P配無塵多翼式耐高溫風輪10.5”各2套,可通過變頻調整風量3.內裝有可調導流風板4.頂部加220V抽風機三、無塵系統(tǒng)1.無塵等級：100級2.進氣口附耐高溫過濾網99.93%效率0.3微米，并附壓差計，監(jiān)測過濾器使用狀況。四、精度1.溫度范圍：室溫～200℃2.溫度波動度：±1℃3.溫度均勻度：±5℃（空箱測試）五、溫控系統(tǒng)1.控制方式：PID+SSR(固態(tài)繼電器)出力2.加熱器材質：無塵用散熱管形不銹鋼電熱器3.溫度控制器：日本富士微電腦自動演算2組8段程序控制器*按鍵設定式數(shù)據(jù)輸入*溫度范圍依測試體而不同*PID動作及自動演算功能4.測溫體：K型感溫組件，測溫精確熱處理高溫熱風循環(huán)烤箱。

四、設備說明及結構設計1、工作原理步進式砂芯烘烤爐採用風路佈置管道的方式，即通過風機將外部新鮮空氣經燃氣燃燒機加熱後，送到預先佈設的加熱風管，熱空氣進入到烘烤爐內，自頂部吹進烘烤爐，除吸進少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過迴圈被繼續(xù)加熱利用，送入到烘烤爐內部，使得烘烤爐內溫度逐步升高，當溫度達到設定溫度時，燃氣燃燒機自動調節(jié)大小火，使烤房內溫度保持恒定。2設備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時具有自動升溫、恒溫定時、以及具有運風。該設備由爐體、迴圈風機系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、安全系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。（選配：過濾系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)）3設備說明3.1烘烤爐系統(tǒng)：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能優(yōu)越的優(yōu)點。3.1.1烘烤爐保溫結構的側板和頂板外板均為鋼板，用型鋼做骨架保證室體的強度。烘烤爐壁板選用複合巖棉保溫板，板厚150mm，室體底部採用巖棉上設高品質耐溫鍍鋅板。其內外面層為彩鍍鋼板，中間填充巖棉保溫材料，整體結構牢固可靠、外形美觀、保溫效果好，不會因受熱而發(fā)生形變，設備使用壽命長。3.1.2結構裝置：烘烤爐為通過式，多層結構，在烘烤爐的二端設閘門，很大程度節(jié)能，降低成本，材料與側板同質。鏈網穿桿輸送隧道爐?；窗残詢r比高工業(yè)烤箱

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4、技術參數(shù)：序號項目單位規(guī)格1砂芯烘乾烤爐結構型式1座多層通過式2加熱能源，正英20萬大卡天然氣3工件加熱方式熱風4送風方式不可調節(jié)風管運風5烘乾時間min90(可調)6總功率55Kw依據(jù)設計圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環(huán)境溫度～150（可調）9溫度控制方式honeywell多組PID自動獨立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動方式大功率傳動座12溫度控制honeywell數(shù)位式和機械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風量m3/h依據(jù)設計圖紙五、配套設施說明：1.設備土建基礎設施由甲方負責，乙方提供設備基礎圖紙。2.甲方負責施工現(xiàn)場的水電氣配套工作。3.甲方負責設備調試前把電、壓縮空氣、水等接到各設備用電、用氣點及用水點上，並派專人協(xié)調安裝調試工作。6.設備移交時，乙方需提供產品說明書、等技術資料。7.乙方負責無償培訓甲方安排的操作維護人員至能正常操作及維護所提供設備。8.以上規(guī)化是設計構思，具體定案后以圖紙和雙方負責人確定規(guī)格為準。六、優(yōu)化改善：1.側拉式閘門（配啟用開關）2.電控：人機+PLC（規(guī)範配電）3.獨立電櫃厚板1.5T，IP54標準（防塵設計），雙門設計?；⑶饏^(qū)半導體工業(yè)烤箱出售

昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司成立于2014-08-20年，在此之前我們已在工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行業(yè)中有了多年的生產和服務經驗，深受經銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經傳的小公司，慢慢的適應了市場的需求，得到了越來越多的客戶認可。公司現(xiàn)在主要提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等業(yè)務，從業(yè)人員均有工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行內多年經驗。公司員工技術嫻熟、責任心強。公司秉承客戶是上帝的原則，急客戶所急，想客戶所想，熱情服務。公司會針對不同客戶的要求，不斷研發(fā)和開發(fā)適合市場需求、客戶需求的產品。公司產品應用領域廣，實用性強，得到工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐客戶支持和信賴。HOTTSP秉承著誠信服務、產品求新的經營原則，對于員工素質有嚴格的把控和要求，為工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行業(yè)用戶提供完善的售前和售后服務。

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